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關於潔淨室
潔淨室(Clean Room)，亦稱無塵車間、無塵室或清淨室。潔淨室的主要功能為室內汙染控製，沒有潔淨室，汙染敏感零件不可能批量生產。在FED-STD-2裏麵，潔淨（jìng）室被定義為具備空氣過濾、分配、優化、構造材料和裝置的房間，其中特定的規則的操作程序以控製空氣懸浮微粒濃度，從而達到（dào）適當的微粒潔淨度級別（bié）。潔淨程度（dù）和控製汙染的持續穩定（dìng）性，是檢驗潔淨室質量的核心標準，該標準根據區域環境、淨化程度等因素（sù），分為（wéi）若幹等級（jí），常用的有國際標準和國內區域行業標準，一些知名淨化工程公司，在通（tōng）行標準之外（wài），還設有自身執行的高（gāo）於國際化通（tōng）行標準（zhǔn）的淨化指標，淨化能力和（hé）環境（jìng）適應力遠超國際品（pǐn）牌。
1簡介
潔淨室是指將一定空間範圍內之空氣中的（de）微粒子、有害空氣、細菌等之汙染物（wù）排除，並將室內之（zhī）溫度（dù）、潔淨（jìng）度、室內壓力、氣（qì）流速度與（yǔ）氣流分布、噪音振動及照明、靜（jìng）電控製在某一需（xū）求範圍內，而所給（gěi）予特別設（shè）計之房間。亦即是不論外在之空氣（qì）條件如何（hé）變化，其室內均能俱有維（wéi）持原先所設定要求之潔（jié）淨度、溫濕度及（jí）壓力等性能之特性。
潔淨室最主要之作用在於控製產品（如矽芯片等）所接觸之大氣的潔淨度日及溫濕度（dù），使產品（pǐn）能在一個良好之環境空間（jiān）中生產、製造，此空間我們（men）稱之為潔淨室。按照（zhào）國際慣例，無塵淨化級（jí）別主要是根據每立方米空氣中（zhōng）粒子直徑大（dà）於劃分標準（zhǔn）的（de）粒子數量（liàng）來規定。也就是說（shuō）所謂無（wú）塵並（bìng）非（fēi）100%沒有一點（diǎn）灰塵，而是控製在一個（gè）非常微量的單位上。當然這個標準中符（fú）合灰塵標準的顆粒相（xiàng）對於我們常見的灰塵已經是小的微（wēi）乎其（qí）微，但是對於光（guāng）學構造而（ér）言（yán），哪（nǎ）怕是一點點的灰塵（chén）都會產生非常大的負麵影響，所以在（zài）光學構造產品的生（shēng）產上，無塵是必然的要求。
每立方米將小於0.3微米粒（lì）徑（jìng）的微塵數量控製在3500個以（yǐ）下，就達到了國際無塵標準的A級。芯片級生產加（jiā）工的無塵標準對（duì）於灰塵的要求高（gāo）於A級，這樣的高標主要被應（yīng）用（yòng）在（zài）一些等級（jí）較高芯片生產上（shàng）。0.5uM及以下的微塵數量（liàng）被嚴格控（kòng）製在每立方英寸1000個以內，這也就是業內（nèi）俗稱的1K級別。
空態：已經建造完成並可以投入使用的潔淨室（設施）。它具備所有有關的服務和功能。但是，在設施內沒有操作人員操作的（de）設備。
靜態：各（gè）種功能完備、設（shè）定安裝妥當，可以按照設定（dìng）使用或正在（zài）使（shǐ）用的潔淨室（設施），但是設施內沒有操作人員。
動態：處於正常使用的潔淨室（shì），服務功能完善，有設備和人員；如果需要，可從事正常的（de）工作。
單向流（層流）潔淨室原理
在潔淨室內（nèi），從送風（fēng）口到回風口，氣流（liú）流經途中（zhōng）的斷麵幾乎沒有什麽變化，加上進風靜壓箱和高效過濾器的均壓均流作用，全室斷（duàn）麵上（shàng）的流速比較均勻，而至少在工作區內流線單向平行，沒有渦流。這也就（jiù）是單向流潔淨室的三大特點。這裏的流線單向平行，是指時均流線彼此平行，方向單一。
單向流潔淨室的流態從雷諾數判斷是紊流的，所以所謂層流潔淨室（shì）的層流和流體力（lì）學上的層流是完（wán）全不同的（de）概念（niàn）。因此，層流潔淨室這（zhè）個名詞是（shì）不（bú）貼切的，國外某些（xiē）標準和文（wén）章也指出這一點，例（lì）如英國（guó）標準BS-5295就曾把所（suǒ）謂層流潔淨（jìng）室定義為單向流潔淨室，隻是照顧（gù）習慣在（zài）括號中注明為層流（liú）。前聯邦德國標準VDl- 2083則用“非紊流的置換流”這一術語，並在注中指出，層流這一概念隻是為了區（qū）別早（zǎo）於層流潔淨室出現的（de）紊（亂）流潔淨室而在當時采用的習慣用語，“層流係統”的（de）確切意思並不是分層流動，而是紊流的置換流，用本章（zhāng）提到的概念（niàn）是紊流的漸變流。在流體力（lì）學中，這種流動狀態也可稱（chēng）平行流或單向流（liú）。1977年中國在《空（kōng）氣潔淨技術措施》中選用了“平行流”這個術語，在該術語後麵同時也指出習慣上稱“層流”。
在（zài）單向流潔淨室內，幹（gàn）淨氣流不是一股或幾股，而是充滿全室斷麵，所以這種潔淨室不是靠潔淨氣流對室內髒空氣的（de）摻混稀釋作用，而是（shì）靠潔淨氣流推出作用將室內髒空（kōng）氣沿整個斷麵排至室外，達到淨化室內空氣的目的。所以，前聯邦德國有人稱單向流潔淨室的氣流為（wéi）“活塞流”、“平推流”前蘇聯稱之為“被擠壓的弱（ruò）空（kōng）氣射（shè）流”。幹淨空氣就好比一個空氣活（huó）塞，沿著房間這個“氣缸”，向前（下）推進，而使塵粒隻能前（下）進，沒有返回，把原有的含塵濃度高的空氣擠壓出（chū）房間。
在單向流潔淨（jìng）室以及單向流淨化設備中，可（kě）以發現沿壁的和兩個過濾（lǜ）器搭接處（chù）下（xià）方的（de）反向氣流。這種氣（qì）流將把下方的汙染傳輸到上部再送下來，破壞了上述“活塞（sāi）流”的狀態，危害極大（dà）。對於和外界（jiè）有開口相通的局部淨化設備，例如潔淨工作台，這種（zhǒng）氣流將引射外界汙染氣流，在設計上一定要減小過濾器邊（biān）框處所占的無效（xiào）麵積，更要設法使（shǐ）空間的壁麵盡量接近過濾器有（yǒu）效迭風截麵。
通過上麵分析，可以認為保證單向流潔淨室特性（高潔淨度和快速自淨恢複能（néng）力）的重要先決條件有兩（liǎng）個：①來流的潔淨度；②來（lái）流的活塞流情（qíng）況；
對（duì）於來流的潔淨度，對通過高效以上過濾器送風的（de）單向流潔淨室來說是（shì）不（bú）成問題的，而對於來流的“活塞流”情況，則需作進（jìn）～步分析。
根據流（liú）體力學（xué）原理，來流條件對以後的流動狀況將有直接的重要影響，送風麵（miàn）出（chū）口氣（qì）流也就是工作區的來流。
來流的紊動性大，則（zé）將影響後（hòu）麵的單向流特（tè）性；來流未充滿流動截麵，則（zé）將影響後麵是否能形成“活塞流”和形（xíng）成的快慢；而來流未充滿流動截麵也是來流素動的一個因素。所以，在采用高效（xiào）過（guò）濾器的條件下，保證單向流潔淨室特（tè）性的（de）必要條件是“活（huó）塞流”，而（ér）“活塞流”的必要條件則是來流充滿流動截麵。但是，對（duì）一間房間而不是一（yī）段管道來說，讓氣（qì）流從頭至（zhì）尾完全充滿流動截麵也是不現實的。
最初，確實認為這種單向平行的氣流應該（gāi）充滿整個潔淨室（shì），但這在技術上和經濟上都是不利的。隨（suí）著認（rèn）識的發展，人們又指出這種單向流隻是“在有限的領域內全部空氣沿平行流線（xiàn）以等速流動的意思”，並（bìng）認為能極力抑製渦流的（de）發生。通過全空間的清潔空氣的單向流特性占支配地位的（de）那樣（yàng）的房間，也稱為單向流潔淨室。這就是說，不要求在整個房間都具有單向平行的流線，均勻的（de）速度（dù），沒有渦流，而是隻要求單向平行流特性在這個房間中占（zhàn）支配地位，例（lì）如（rú）在整個工作區這一層（céng）空間保證了單向流，這個房間就是單向流潔淨室。前麵介紹過的國內外有關標準（zhǔn）、措施中關於單向流潔淨室達到的高潔淨度（dù），就是指在工作區內達到的潔淨度。因此，密集布置的流線型散流器頂送（sòng）和全孔板頂送，也被（bèi）作（zuò）為實現垂直單向流的手段使用。
亂流原（yuán）理
潔淨室按其氣流狀態來區分，主要分為亂流（非單向流）潔淨室、單向流潔淨室和輻流潔淨室（也有稱矢（shǐ）流潔淨室的），這一節主要討論亂（luàn）流潔淨室。前麵（miàn）已經指出，不論是哪一種潔淨室，都（dōu）是紊流（liú）流（liú）態。那為什麽不（bú）都叫紊流潔（jié）淨室呢（ne）？
亂流潔淨（jìng）室的名稱是借用於日文，但是日文的亂流就是紊流的意思，而中國最早在《空氣潔淨技術措施（shī）》中正式采用（yòng）的亂流一詞是兼有紊流（liú）的含義而（ér）不同於（yú）流體力學（xué）上的紊流這一專有名詞。國際上習慣稱這種潔淨室為非單向流潔淨室。
所謂亂流（liú）潔淨室，一（yī）般包括以下各種送風（fēng）形式：
⑴高效過濾器頂送（有（yǒu）擴散（sàn）板和無擴散板
⑵流線型散流器頂進
⑶局部孔板頂送
⑷側送
具有這些送風形式的潔淨室，如以雷諾數判斷，顯然屬於紊流流態，但是如（rú）果把（bǎ）它們稱（chēng）為紊流潔淨室就不合適（shì）。氣流（liú）沿整個頂棚下送，室（shì）內速度達到0.25m/s 以上，這種室內的流（liú）動狀態也是紊流，但在後麵就會搞清楚，雖（suī）然這兩種（zhǒng）送風方式都造成室內紊流流態，但是就其淨化室內空（kōng）氣的原理（lǐ）來說，卻是根本不同（tóng）的，後者屬（shǔ）於單向流或（huò）平行流潔淨室的淨化原理。所（suǒ）以如果把前（qián）者稱為紊流潔淨室，則後者也應被包（bāo）含進去了。
亂流潔（jié）淨室的主要特點是從來流到出流（liú）（從送風口到回風口（kǒu））之間氣流的流通（tōng）截麵是變化的，潔淨室截麵（miàn）比送風口截麵大得多，因而不能在全室（shì）截麵或者在全室工作區截麵形成勻速氣流。所以，送風（fēng）口以後的流（liú）線彼（bǐ）此有很大或者越來越大的夾（jiá）角（jiǎo），曲率半徑很小，氣流在室內不可能以單一方向流動，將會彼（bǐ）此撞擊（jī），將有回流、旋渦產生（shēng）。這就決定亂流潔淨室的流態實質是（shì）：突（tū）變流；非均勻流。
這比用（yòng）紊流來描述亂流潔淨室更確切、更全麵（miàn）。紊流主要決定於雷諾數，也就是主要受流速的影（yǐng）響，但是如果采用（yòng）一個高效過濾器頂送的送風形式，則即使流（liú）速極低，也要產生（shēng）上述（shù）各種結果，這就因（yīn）為它是一個突變流和非均勻流。因此這種情況下不僅有流層之間因紊流流動而發生的摻混（hún），而且還有全室範圍內的大（dà）的回流、旋渦所（suǒ）發生的（de）摻混。
所以，概括（kuò）地說，亂流潔淨室的作用原理是（shì）：當一股幹淨氣流從送（sòng）風口送入室內時，迅速向四周擴（kuò）散、混（hún）合，同時把差不多（duō）同樣數量的氣流從回風口排走，這股幹淨（jìng）氣流稀釋著室內汙染的空氣（qì），把原來含塵濃度很高的室內空氣（qì）衝淡了，一直達（dá）到平衡。所以氣（qì）流擴散得越快，越均勻，稀釋的效果就越好。所以（yǐ）亂流潔淨室的原理（lǐ）就（jiù）是稀釋作用。
2所需材料
潔淨室在進行淨化工程施（shī）工的時候，需要用到以下設備：
A． 裝飾結構類：
1：潔（jié）淨室所需要的淨化設備主要有：風淋室貨淋室 層流罩（FFU）傳遞窗高效送風口（分為（wéi）普通高效送風口，一體化高效送風口，可更換濾網的高效（xiào）送風口） 泄壓閥 風量調節閥等，潔淨室做好後有的局部淨化級別要求特別高，因此我們推薦客戶使用潔（jié）淨工作台，潔淨棚（péng）等淨化設備。
2：圍體結構彩鋼板（各種鋁（lǚ）型材 槽鋁 T型（xíng）大梁鋁 角鋁 外形（xíng）柱鋁 外圓片（piàn） 三維接頭 門堵頭 內圓弧線 門料 窗料等） 輔助材料角鐵 圓鋼 膠塞 白（bái）功釘 拉爆（bào）鉤等）
B．空調通風部分：
1.空調通風部分（fèn）主要（yào）材料有空調主機（jī），送回風管，鍍鋅（xīn）水管（或者PVC水管） 水塔 閘閥水泵 Y型過濾器 橡膠軟管 止回（huí）閥 水流開關 溫度計 壓力表 水過濾器 各種管碼（mǎ）
2：通風部分的主要材料有中（zhōng）效增壓箱 風閥 風量調節閥 初效防雨百葉 風回百葉 初效過濾器（qì） 中效過濾器（qì） 高效過濾器 層流罩（FFU） 保溫棉 保濕軟管 各種輔材
C． 電器部分：
1、空調電路
2、淨化設備電路
3、照明電路
D． 地麵部（bù）分：
1、環氧樹脂地坪
2、PVC地板
3、高架地板地麵
3所（suǒ）需（xū）設備
風淋室
風（fēng）淋室係（xì）列產品（pǐn）是一（yī）種通用性較強的局部淨化設備，安（ān）裝於潔淨室與非（fēi）潔淨室之間。當人與貨物要進入潔淨（jìng）區時需經風淋室吹淋（lín），其吹出的（de）潔淨空氣可（kě）去除人與貨物（wù）所攜帶的塵埃，能有效（xiào）的阻（zǔ）斷或減少塵源（yuán）進入潔淨區（qū）。風淋（lín）室/貨淋室的前後兩道門為電子互鎖，又可起到氣閘的作用（yòng），阻止未（wèi）淨化的空氣進入（rù）潔淨區域。
貨淋室
貨淋室，固（gù）名思義，即為貨物專用的吹淋室，又稱之為貨（huò）淋通道、貨淋門、廣泛適用於電子（zǐ），食品、包裝企業（yè）的物流通道處，對即將進入潔淨車間進行操作加工的貨物原材料及工具進行吹淋，達（dá）到過濾去除灰塵粒子，進入無塵車間的原材料潔淨的效果.因每個企業物流通（tōng）道的現場（chǎng）尺（chǐ）寸以及（jí）需（xū）要吹淋的貨物原材料運輸方式（shì）大（dà）小（xiǎo）的不同，故貨淋室沒有統一的標準，全部為非標產品。貨淋在功能上（shàng）既有（yǒu）普（pǔ）通型貨（huò）淋室，又有紅外線語音提示型貨淋室，還有自動移門式貨淋室。
傳遞窗
傳遞窗主要適用於潔淨區與非潔淨區之間，或潔淨（jìng）室與潔淨室之間的小貨物傳遞，可有效的減少潔淨室門的（de）開啟次數，把潔淨區的汙染減少的最低程度（dù）。根據使用要求，傳遞窗（chuāng）箱體表麵可（kě）噴塑（sù），內膽（dǎn）可用不鏽（xiù）鋼，外表美觀。傳遞（dì）窗的兩扇門采用電控連鎖或機械連鎖裝置，可有效的防止低潔淨等級區內的灰塵（chén）帶入（rù）高潔淨區內，是淨化車間必備佳品。
高（gāo）效送風口
本產品為萬級，十萬級亂流潔淨室新建，改（gǎi）建工程淨化空調係統終端送風裝置。可廣泛應用與電子工業，精密機械，冶金，化工等工（gōng）業及醫療，製藥，食品等（děng）部（bù）門的淨化空調係統。本裝（zhuāng）置主要由靜壓箱，高（gāo）效過濾（lǜ）器，鋁合金擴散板，標準法蘭接口等組成，造型美觀，結構簡單，使（shǐ）用可靠。 本送風口為下裝式，具（jù）有在（zài）潔淨室內安（ān）裝（zhuāng）和更換過濾器方便的優點，高效過濾器采用機械壓緊或液槽密封裝置，確（què）保風口安裝無泄露，密封可靠，淨化效果好，對一般淨化工程均可適（shì）用。
潔淨工作（zuò）台
無塵車間內的潔淨工作台可根據（jù）產（chǎn）品要求或其他用途的要求，在（zài）操作台上保持高潔淨度的局部淨化。潔淨工作台可以在操作台的局部空間形成（chéng）無菌、無（wú）塵的局部淨化（huà），其主要組成部件有預（yù）過濾器、高效過濾器、風機機組、外殼、靜壓箱、台麵和配套的（de）電器元器件等。
無（wú）塵車間的潔淨工作台的構造要求：台麵，采用木質塑料貼麵貼於層壓板上做成台麵，或采用不鏽鋼做（zuò）台麵；箱體，用熱紮薄鋼板與骨架氣（qì）焊（hàn）易變形，可采用冷軋薄板折邊搭接，大電流電焊，內表麵需（xū）粘貼消聲材料，最大尺寸應以通（tōng）過一般房門為宜；箱體密封，所有縫隙均采用密封（fēng）膠（jiāo）密（mì）封（fēng）；操作區截麵應盡可能與空（kōng）氣過濾器送風截麵（miàn）相同，盡量減少盲區；風（fēng）機、電機，選用高壓低噪的小型風機，風機與（yǔ）箱體的連接采用軟連接，電機及風機均應（yīng）采取減振措施；燈罩，日光燈要（yào）盡量（liàng）設置在燈罩內，燈罩內要通過潔淨氣流；預過（guò）濾（lǜ）器，須設置預（yù）過濾器，容量要大，在使用（yòng）風量下，初阻力宜小於50Pa；高效過（guò）濾器，盡量采用大麵積（jī）的過濾器，減少空氣過濾器的數量，過（guò）濾器與（yǔ）框架（jià）之間的密（mì）封應采用封（fēng）導結合的雙環密封係統。
FFU風機過濾單元
風機過濾單元（FFU）是一種空氣自（zì）淨裝（zhuāng）置，可室內（nèi）吊頂安裝或放置在支架上，使局部級別達到百級。也可用（yòng）於潔（jié）淨室末端送風。該產品設有初、高效兩級過濾裝置。風機從頂部（bù）將空氣吸入並經初、高效過濾器過濾，過濾後的潔淨空氣在整個出風（fēng）口送出。安裝方式有懸（xuán）掛式和落地支架兩種。
風機從FFU頂部將空氣（qì）吸入並經初、高效過濾器過濾，過濾後的潔（jié）淨空氣在整（zhěng）個出風麵以0.45M/S±20%的風速勻速送出（chū）。它為不同尺寸大（dà）小，不同潔淨度等級的（de）潔淨（jìng）室、微環境提供高質量的潔淨空氣。在新建潔淨室、潔淨廠房式改造翻新中，即可提高潔（jié）淨度級別，降低（dī）噪音和振動（dòng），也可大大降（jiàng）低造價，安裝維護方便（biàn），是潔淨環（huán）境的理想部件。
層（céng）流罩
層流罩一種可提供局部高清潔環境的空氣淨化設備。它主要有箱體，風機，初效空氣過濾（lǜ）器，高效空氣過濾器。阻尼層，燈具等組成，箱（xiāng）體（tǐ）噴塑或（huò）采用不鏽鋼材料。該產（chǎn）品即可以懸掛，又可地麵支撐（chēng），結（jié）構緊湊，使（shǐ）用方便。可以單個使用，也（yě）可多個聯接組成（chéng）帶（dài）狀潔淨區域。廣泛用（yòng）於（yú）精密機械，電子，製藥，食品，精細化工等部門。
4控管（guǎn）項目
1、能除去（qù）空氣（qì）中飄（piāo）遊之微塵（chén）粒子。
2、能防止微塵粒子（zǐ）之產（chǎn）生。
3、溫度和濕度之控製。
4、壓力之調節。
5、 有害氣體之排（pái）除。
6、結構物與隔間（jiān）之氣（qì）密（mì）性。
7、靜電之防製。
8、電磁幹擾預防。
9、安全因素之考慮。
10、節（jiē）能之考量。
5淨化方法
空氣（qì）淨化方法
1 、整體淨化（huà）：可分為層流型和湍（tuān）流型。層流是指空氣由（yóu）一側全麵地以同（tóng）速流向另一側，使室（shì）內產生的塵粒或（huò）細菌不（bú）會向四周擴散（sàn）而被平推出室外，而達到好的除菌效果。
⑴高效過（guò）濾除菌技術：空氣潔淨主要靠高效或（huò）超高效過濾設備，向特定的環境（jìng）內輸送潔（jié）淨空氣並能保持空氣的潔淨度（dù）。過濾潔（jié）淨原理：①網截阻留；②篩孔阻留；③靜電吸引阻留；④慣性碰撞和布朗運動（dòng）阻留。因此，過濾潔淨技術是一（yī）種綜合作用的結果。
⑵濾材結構：生物潔淨室所用濾材級別多數為高效或超高效濾材，所用濾材有：玻璃棉製濾材、高級紙漿製濾材（cái）、石棉纖維濾材、過氯乙烯（xī）纖維濾材等。高效濾材對空氣中 0.5 μ m 的顆粒的阻留率能達到 90%~99% ，超高效濾（lǜ）材可阻留 0.3 μ m 的顆粒 99.9% 以上。
2 、局部（bù）淨化
⑴潔淨層（céng）流罩：潔淨層（céng）流罩是醫院局部空氣淨化裝置。一般可構成垂直層流方式（shì），四周用透明圍幕。整個（gè）罩內可保持高潔淨度（萬級至百（bǎi）級）空氣。這種潔淨層（céng）流罩可用於免（miǎn）疫功能低（dī）下病人的治療保護，所以也稱無菌病床層流（liú）罩。
⑵淨（jìng）化操作台：采用水（shuǐ）平或垂直層（céng）流方式淨化箱體內的空氣（qì），可使（shǐ）操（cāo）作台內（nèi）淨化達到很高級別。
⑶靜（jìng）電（diàn）吸附除菌淨（jìng）化技術：靜電吸附（fù）除菌（jun1）是（shì）利用工業（yè）電除塵的原理，在（zài）小型化技術方麵有所創新（xīn）。①采用細線（xiàn）放電（diàn）極與蜂巢（cháo）狀（zhuàng）鋁箱收集（jí）極形成級線裝置；②采用鏡象力荷（hé）電吸附作用。
目前有一種三級淨化（huà）裝（zhuāng）置，即預過濾 - 高效過濾 - 活性炭吸附，組合式正離子靜電吸（xī）附除菌，並采用大風量空氣淨化，以保證室內空氣（qì）淨化次（cì）數，較好地解決了醫院重點部門如手術室、 ICU 、母嬰病房、血（xuè）液透析室等有人情況下的空氣持續消毒問題，可使（shǐ）醫院室內空氣的淨化潔淨度達到（dào） 10 萬級 ~1 萬級。
⑷負離（lí）子（zǐ）淨化技術：負離（lí）子是一種（zhǒng）帶負電的化學基團，能發生（shēng）可逆性變化，存在（zài）時間極短（duǎn），本身並無殺滅（miè）微生物的能力，主要是靠帶電（diàn）離子與空（kōng）氣中的微粒特別是微生物顆粒結合，形成多個顆（kē）粒凝（níng）聚變大從而迅速沉降，使空氣達到淨化的目的。空氣中負離子隻有在具備某些化（huà）學性質時，如活（huó）性氧離子等，它們才具有侵害蛋白質的能力從而殺滅微生物，因（yīn）此負（fù）離子對空氣（qì）淨化的能力比較（jiào）有限，對空氣（qì）中微生物粒子清除率隻能達到 70%~90%。
6工作方式
亂流式
空氣由空調箱經風管與潔（jié）淨室內之空氣過（guò）濾器（HEPA)進入潔淨室，並由潔淨室兩側隔間牆板或（huò）高架地板回風（fēng）。氣（qì）流非直線型運動（dòng）而呈（chéng）不規則之亂流或（huò）渦流狀態。此型（xíng）式適用於（yú）潔淨室等級1,000-100,000級。
定義：氣流以不均（jun1）勻速（sù）度不平行流動、伴有回流或渦流的潔淨室。
特性：亂流（liú）潔淨室是靠多次換氣來實現潔淨與潔淨級別。換氣（qì）次數決（jué）定定義中的淨化級別（bié）（換（huàn）氣次數越多，淨化級別越高）
⑴自淨時間：是指潔淨室按設計換氣（qì）次數開始送風到潔淨室，室內含塵濃度達到所設計的淨化級別的（de）時間。1,000級希（xī）望不超過20min（分鍾） （可取15min計算） 10,000級希望不超過30min（分鍾） （可取25min計算（suàn）） 100,000級希望不超過40min（分鍾） （可取30min計算）
⑵換（huàn）氣次數（按上述自淨時間要求設計）1,000級 43.5—55.3次/小時 （規範：50次/小時） 10,000級 23.8—28.6次/小時 （規範：25次/小時） 100,000級 14.4—19.2次/小時 （規範：15次/小時）
優點：構造簡單、係統建造成本，潔淨室之擴充比較容易，在某些特殊用途場所，可（kě）並用無塵工作台，提高潔（jié）淨室等級（jí）。
缺點：亂（luàn）流造成的（de）微塵粒子於（yú）室內空間飄浮不易排出，易汙染製（zhì）程產品。另外若係統停止運轉再激活，欲達需求之潔淨度，往往須耗時相當長一段時間（jiān）。
層（céng）流式
層流式空（kōng）氣氣流運動成一均勻之直線形，空氣由覆蓋率100%之過濾器進入室內，並由（yóu）高架地板或兩側隔牆板回風，此型式（shì）適用於潔淨室等級需（xū）定較高之（zhī）環境使用，一（yī）般其潔淨室等級為Class 1~100。其型式（shì）可分為二種：
⑴水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹（chuī）出，由對邊牆（qiáng）壁之回風係統回風，塵埃隨（suí）風向排出室外，一般在下流側（cè）汙染較嚴重。
優點：構造簡單，運轉後短（duǎn）時（shí）間（jiān）內即可（kě）變成穩定。
缺點：建造費用比亂流式高，室內空間不易（yì）擴充。
⑵垂直層流（liú）式：房間天花板完全以ULPA過（guò）濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔淨度（dù），在製程中或工作人員所（suǒ）產生的塵埃可快速排出室外而不會影響其它工作區域。
優點：管理容易，運轉開始短時間內即（jí）可達穩（wěn）定狀態，不易為作業（yè）狀態或作業人員所影響。
缺點：構造費用較高，彈性運用（yòng）空（kōng）間困難，天花板之吊架相當占空（kōng）間，維修更換過濾器較麻煩（fán）。
複合式
複合式為將亂流式及層流式予以複合或並（bìng）用，可提供局部超潔淨之（zhī）空氣。
⑴潔淨隧道（Clean Tunnel）：以HEPA或（huò）ULPA過濾器將製程區域或工作區域100%覆蓋使潔淨度等級（jí）提高至10級以（yǐ）上（shàng），可節省安裝運轉費（fèi）用。
此型（xíng）式需（xū）將作業人員之工作區與產品和機器維修（xiū）予以（yǐ）隔離，以避免機器維修時影響了工作及品質，ULSI製（zhì）程大都采用此種（zhǒng）型式。
潔淨隧道另有（yǒu）二項（xiàng）優點：A.彈性（xìng）擴充容易； B.維（wéi）修設（shè）備時可在維修區輕易（yì）執行。
⑵潔淨管道（Clean Tube）：將產品流程經過的自動生產線包（bāo）圍並（bìng）淨化（huà）處理，將潔淨度等級提至100級以上。因產品和作業員及發塵環境相互隔（gé）離，少量之送風（fēng）即可得到（dào）良好之潔淨度，可節省能源，不需人工的自（zì）動化生產線為最適宜使（shǐ）用。藥品、食品業界及半導體業界均適用。
⑶並裝局部潔淨室（Clean Spot）：將潔淨室等級10,000~100,000之亂流潔淨室內之產品製（zhì）程區的潔淨度等級提高為10~1000級以上，以（yǐ）為（wéi）生產之用；潔淨工作台、潔淨工作棚、潔淨風（fēng）櫃即屬此類。
潔淨工作台：等（děng）級Class 1~100級。
潔淨工（gōng）作（zuò）棚：為在亂流式之（zhī）潔淨室空間內以防靜電之透明塑料（liào）布（bù）圍成一小空間，采用獨立之HEPA或ULPA及空調（diào）送風機（jī）組而成為一較高級之潔淨空間，其等級為10~1000級，高度（dù）在（zài）2.5米左右，覆蓋（gài）麵積約10m2以下，四支支柱並（bìng）加裝活動輪，可為彈性（xìng）運用。
7風（fēng）速控製
潔淨室內的（de）氣流是左右潔淨室性能的重要因素，一般潔淨室的氣流（liú）速度是選0.25~0.5m/s之間，此氣流速度屬微風區域，易受人、機器（qì）等的動作而幹擾趨於混（hún）亂、雖（suī）提高風速可抑製此一（yī）擾亂之影響而（ér）保持潔（jié）淨度（dù）、但因風速的（de）提高，將影響運轉成本的增（zēng）加，所（suǒ）以應在滿足要求的潔（jié）淨（jìng）度水準之（zhī）時，能以最（zuì）適當的風速供應，以達到適當（dāng）的風速（sù）供應以達到經濟性效果。
另一（yī）方麵欲達到潔淨室潔淨度之（zhī）穩定效果，均一（yī）氣流之保持亦為一重要因素（sù），均一氣流若無法保（bǎo）持，表示風速有異（yì），特別是在壁麵，氣流會延著壁麵發生渦流作用，此時要實現高潔淨度（dù）事實上（shàng）很困難。
垂直層（céng）流式方向要保持均一氣流必（bì）須：（a）吹出麵的風速不可有速度上的差（chà）異；（b）地板（bǎn）回風板吸（xī）入麵之風速不可有速度上的差異。速度過低或過高（0.2m/s，0.7m/s）均有渦流之現象發（fā）生，而0.5m/s之速度，氣（qì）流則較（jiào）均一，一般潔淨室，其風速均取在0.25~0.5m/s之間。
8影響因（yīn）素（sù）
影響（xiǎng）潔淨室的氣流因素很多，如製程設備、人員、潔淨（jìng）室組裝材、照明器具（jù）等，同時對於生產設備上（shàng）方氣流的分流點，亦應列入考慮因素。
一般操作台或生產（chǎn）設（shè）備等表麵的氣流分流點，應（yīng）設於（yú）潔淨室空間與隔牆板間距2/3之處，如此可使作業人員工作時（shí），氣流可從製程區內部（bù）流向作業區，而將微塵帶走；若分流點配置在製程區前方，將（jiāng）成為不當的氣流分流，此時大部份的氣流將流（liú）至製程區之後，作業員操作所引起的塵埃將被帶到設備後麵（miàn），工（gōng）作台因（yīn）而將受到汙染（rǎn），良率也勢必降低。
潔淨室內（nèi）的工作桌等障礙物，在相接處均會有（yǒu）渦流現象發生，相對地（dì）在其附近（jìn）之潔淨度將（jiāng）會較差，在工作桌麵鑽上回風孔，將使渦流現（xiàn）象減少最低；組裝材料之選擇（zé）是否恰當、設備布局是否完善，亦為氣流是否成為渦流現象之（zhī）重要因素。
潔淨（jìng）室的構成是由下列各項係統所組成（在所組成的係（xì）統分子中是缺一不可的），否則將無法構成一完整且品質良好的（de）潔淨室：
⑴天花（huā）板係統：包括吊杆（Ceiling rod）、綱梁（I-Beam或（huò）U-Beam）、天花板格子梁（liáng）（Ceiling grid或 Ceilingframe）。
⑵空調係統：包括空氣艙、過濾器係統（tǒng）、風車等。
⑶隔牆（qiáng）板（Partitional wall）：包括窗（chuāng）戶、門（mén）。
⑷地板：包括高架（jià）地板或防靜電舒（shū）美地板。
⑸照明器具：包括日光燈、黃色燈（dēng）管等。
潔淨室之建築主體構造，一般是用（yòng）鋼筋或骨水泥，但（dàn）無論是何種構造，必須滿足如（rú）下之條件：
●不會因溫度變化與振動而發生裂痕；
●不易產生微（wēi）塵粒子，且很難附著粒子；
●吸濕性小；
●為了維持室內之濕度條件，熱絕緣性要高。
9重（chóng）要性
潔淨室的潔淨度（dù）往往受到氣流的（de）影響，換言之，即人（rén）、機器隔間、建築結構等所（suǒ）產生的塵埃之移動、擴散受到氣流的支（zhī）配。
潔淨室係利用HEPA、ULPA過濾空氣，其塵（chén）埃的收（shōu）集率達99.97~99.99995%之（zhī）多，因此經過此過濾（lǜ）器（qì）過濾（lǜ）的（de）空氣可說（shuō）十分幹淨。然而潔淨室內除了人（rén）以外，尚有機器等之發塵源，這些發生的塵（chén）埃一旦擴散，即無（wú）法（fǎ）保持潔淨空間，因此必須利用氣流將發生的塵埃迅速（sù）排出室外。
10應用領（lǐng）域（yù）
工業
以無生命微粒的控製為（wéi）對象。主（zhǔ）要（yào）控製空氣（qì）塵埃微粒對工作對象的汙染，內部（bù）一般保持正壓狀態。它適用於精密機械工業、電子工（gōng）業（半導體、集（jí）成電路等）宇航工（gōng）業、高純（chún）度化學工業、原子能（néng）工（gōng）業、光磁產品工業（光盤、膠片、磁帶生產）LCD（液晶玻璃（lí））、電腦硬盤、電腦磁頭生產等多行業。
生物（wù）
主要控製有生命微粒（細菌）與無生命（mìng）微粒（塵埃）對工作對象的汙染。又可分為（wéi）：
A、 一般生物潔淨室：主要控製微生物（細菌（jun1））對象（xiàng）的汙（wū）染。同時其內部材料要能經（jīng）受各種滅菌劑侵蝕，內部一般保證正壓。實質上其內部材料要能（néng）經受（shòu）各種（zhǒng）滅菌處理的工業潔淨室。例：製藥工業、醫院（手術室、無（wú）菌病房）食品（pǐn）、化妝品、飲料（liào）產品生產、動物實驗室、理化檢驗室、血站等。
B、 生物學安全潔淨室：主要控製工作對象的有生命微粒對外界和人的汙染。內部要保持與大氣的負壓。例：細菌學、生物學、潔淨實（shí）驗室（shì）、物（wù）物工程（重組基因、疫苗製備）。
相關知識
11工作量
發塵（chén）量
潔淨室內的發塵量，來自設備的可考慮通（tōng）過局部排風排除，不流入室內（nèi）；產品（pǐn），材料等在運送過程中的發塵與人體發塵量相（xiàng）比，一般極小，可忽略；由於金屬（shǔ）半壁（bì）（彩鋼夾心板）的應用來自（zì）建築表麵的發塵也很少，一般占10%以下，發塵主要（yào）來自人，占90%左右。在人的發塵量上，由於服裝材料和樣式的改進，發（fā）塵絕對量也不斷減少。
A、材（cái）質：棉質發塵量最大，以下依次為（wéi）棉、的確良、去靜電純滌綸、尼龍。
B、樣式：大掛式發塵量（liàng）最大，上下分裝型次之，全罩型最少。
C、活動：動（dòng）作時的發塵量一般達到靜止時間3-7倍（bèi）。
D、清洗：用溶劑洗滌的發塵量降至用一（yī）般水清洗的五分之一。
室內維（wéi）護結構表麵發塵（chén）量，以地麵為準，大約相應8平方（fāng）米地麵時的表麵發塵量（liàng）與一個靜止的人的發塵量相當。
發菌量
工作人員產（chǎn）生的汙染：
1）皮膚：人類通常每四（sì）天完成（chéng）一次（cì）皮膚的完全脫換，人類每（měi）分鍾脫落（luò）約1000片皮膚（平均大小為30*60*3微米）
2）頭發：人類的頭發（直徑約為50~100微米）一（yī）直在脫落。
3）口水：包括鈉、酶、鹽、鉀、氯化物及食品微粒。
4）日常衣物：微粒、纖維、矽土、纖維素、各種化學品和細菌。
5）人類靜止和坐立每分鍾將產（chǎn）生10000個大於0.3微米的微粒。
6）人類在頭部和軀幹做動（dòng）作（zuò）時每分鍾將產生1000000個大於0.3微米的（de）微粒（lì）。
7）人類以0.9m/s的速度行走時每分鍾將產（chǎn）生5000000個（gè）大於0.3微米（mǐ）的微粒。
分析國外試（shì）驗（yàn）資（zī）料可以認為：
⑴ 潔淨室內當工作人員穿無菌服時：
靜止時（shí）的發菌量一般為10-300個/min.人（rén）
軀體一般活動時的發菌量為（wéi） 150-1000個（gè）/min.人
快步行走時（shí）的發菌量（liàng）為 900-2500個/min.人
⑵ 咳（ké）嗽一次一般為 70~700個/ min.人
噴嚏一次（cì）一般（bān）為 4000~62000個/ min.人
⑶ 穿平常衣服時發菌量 3300~62000個/ min.人
⑷ 無口罩發菌量：有口罩發菌量 1:7~1:14
⑸ 發菌量：發塵量 1:500~1:1000 據（jù）國內事例：
⑹ 手術中人員發菌量 878個/ min.人
所以，可知潔淨（jìng）室（shì）內無菌衣人（rén）員的靜態發菌量一般不超過300個/ min.人，動態發菌量一般不超過1000個/ min/人，以此作為計算依據（jù）是可行的。
12執行標（biāo）準
國內標準
⑴.潔淨廠房設計規範 GB50073-2001
⑵.醫院潔淨手術部建築技（jì）術規範GB50333-2002
⑶.醫藥工（gōng）業潔（jié）淨廠房設（shè）計規範（fàn）GB 50457-2008
⑷.傳（chuán）染（rǎn）病醫院建築設計規範
⑸.醫藥（yào）工業潔淨室（區）懸浮粒子的測試方法（fǎ）GB/T16292-1996
⑹.QS認證質（zhì）量手冊（cè）
⑺.GMP藥品生產質（zhì）量管理規範
⑻. 潔淨室施工（gōng）及驗收規範GB 5091-2010
際標（biāo）準
ISO係列（liè）
⑴ISO14644-1空氣潔淨度等級劃分
⑵ISO14644-2 為認證ISO14644-1的 連續的（de）相符性的測試和監測技術要（yào）求
⑶ISO14644-3 測試方法
⑷ISO14644-4 設計建造啟動
⑸ISO14644-5 運行（Operations)
⑹ISO14644-6 術語和定義
⑺ISO14644-7 分離裝置（潔淨空（kōng）氣罩、手套箱、分離器和微循環設備（bèi）
⑻ISO14644-8 分子汙染
⑼ISO14644-9 潔淨化學品（液體（tǐ））
IEST係列
潔（jié）淨空氣：
RP-CC001高效與超高效過濾（lǜ）器
RP-CC002單向流裝置
RP-CC006潔淨室測試RP-CC007超高效過（guò）濾器測（cè）試
RP-CC008氣體吸收裝置
RP-CC021高效與超（chāo）高效過濾器（qì）過濾器介質（zhì）測試
RP-CC034高效（xiào）與超高效過（guò）濾（lǜ）器過濾器檢漏
潔淨室與潔淨環境：
RP-CC006潔淨室測試
RP-CC012潔淨室設（shè）計要點
RP-CC016潔淨室非揮發性殘留物質的沉（chén）積率
RP-CC018潔淨室管理運行（háng）與檢測程序（xù）
RP-CC022潔淨（jìng）室（shì）與受控環境中的靜電
RP-CC023潔（jié）淨室中的微生物
RP-CC024微（wēi）電子設備震動測量與說明
RP-CC026潔淨室運行
RP-CC027潔淨室與受控（kòng）環境中人員與行為
特殊應用：
RP-CC029使用噴漆器要考慮的汙染控製因素
運行保障：
RP-CC003淨室與受控環境的服裝係（xì）統要點
RP-CC004淨室與受控環境用抹布材料評估
RP-CC005淨室與受（shòu）控環境用手套（tào）和指套
RP-CC020潔淨室文件材（cái）料與格式
設備：
RP-CC002單向流（liú）裝置
RP-CC013設備校準與（yǔ）檢（jiǎn）驗程序
RP-CC015潔淨室生（shēng）產設備與輔助設備
術語：
RP-CC011汙染控製（zhì）領域術語和定義
文獻：
RP-CC009汙染控製領域的標（biāo）準、準則、方法與（yǔ）相關文件概覽
詳細參數
潔淨標準與潔淨等級 (ISO 國際標準）
各粒徑檔最大容（róng）許粒子濃度 （顆（kē）/m3）
ISO等級 0.1um 0.2um 0.3um
1 10 2
2 100 24 10 4
3 1，
4 10，000 2，370 1，020 32 83
5 100，000 23，700 10，
6 1，000，000 237，000 102
空氣潔淨度應按下表規定劃分（fèn）為四個等級。
空氣潔淨度等級表
等級
每立方米（每升）空氣中
≥0.5微米塵粒數
每立方米（mǐ）（每升）空（kōng）氣中（zhōng）
≥5微米塵（chén）粒數
100級
≤35×100(3.5)
1000級
≤35×1000(35)
≤2500(0.25)
10000級
≤35×10000(350)
≤25000(2.5)
100000級
≤35×100000(3500)
≤25000(25)
注：對於空氣（qì）潔淨度為100級的潔淨室內大於等於5微（wēi）米塵粒的計算應進行多（duō）次采樣。當其多次出現時，方可認為該測（cè）試數值是可*的。
13應用範圍（wéi）
淨化工程（chéng）是一個（gè）應用行（háng）業非（fēi）常廣（guǎng）泛的基礎性配套產業，在電子信息、半導體、光電子、精密（mì）製造、醫藥衛生、生物工程、航天航空、汽車噴塗（tú）等眾多行業均有應用，並根據行業的精密與無塵要求，等（děng）級差別（bié）也較大。
目前級別（bié）最高的當屬航（háng）天航空的航（háng）空倉，基本是屬於1級，屬於特殊領域，麵積相對較小。
另外對級別要（yào）求較高的是生物化學實驗室（shì）和高精納米材料生產車間，互聯網（wǎng）芯片的發展將是未來需求的一（yī）大方向。
14八大特點
第一點，采用更適（shì）合潔淨室原理的圓弧轉角（jiǎo）；
第二點，係統自動控製（zhì）運行，雙門電子互鎖，並設有光（guāng）電感應器，單向通道風淋室，從（cóng）非潔淨（jìng）區進（jìn）入，關門後紅外線感應有人就（jiù）吹淋，吹淋後入門鎖閉，隻能從出門走（zǒu）出風淋室；
第三點（diǎn），整體冷軋鋼板製作（zuò），外（wài）表麵靜電噴塑處理；
第四點，門、底板、噴嘴均采（cǎi）用不鏽鋼（gāng）製造，美觀（guān）大方；
第五（wǔ）點，軟鍵觸按式時間繼電器，LED顯示及設置吹淋時間，範圍在10-99s可調，吹淋（lín）時雙門自動鎖閉；
第六點（diǎn），采用初、高效兩級過濾係統，有隔板高效過濾器，過濾效率為：99.99%，確保淨化（huà）級別；
第（dì）七點，風嘴出風（fēng）口風速高達25m/s以上，吹到人體上風速18m/s以上；
第八點，采（cǎi）用EVA密封材料，密閉性能（néng）高。
15人（rén）員規範
為了避免和減（jiǎn）少潔淨室（shì）從業人員對潔淨室造成的汙染。任何潔（jié）淨室工作以外的人員，在與潔淨室工作人員捷星接觸談話時，要將自己背對過去，因為口鼻會向注視的方（fāng）興散發汙染。
做到（dào）口鼻不對潔淨室的工作區。
如果出現咳嗽或者打噴嚏的情況，要做到（dào）背對潔淨室的工作區用手套掩住，然後及時更換手套。情況嚴重的者應立即離開潔淨室（shì）區（qū）域，並向領導報告。
潔淨室內（nèi）不得放（fàng）置於潔淨室工作無關的物（wù）品。潔淨室工（gōng）作物品要排放有序。
當設備不能正（zhèng）常運（yùn）轉的時候，不要私（sī）自（zì）維修，要向領導報告，等專（zhuān）業人員對潔淨（jìng）室進行維修。
另外，由於潔淨室對（duì）潔淨度有著過高（gāo）的要求。因此，對潔淨室的工作人員的身體方麵的（de）狀況要求是很嚴格的。
患有呼吸道疾病的人，由於會對潔淨室的空氣造（zào）成汙染，故不能進入潔淨室工（gōng）作
患有結（jié）膜炎或者其他產生（shēng）分泌物的病症，或者患有皮膚類疾病的人員都（dōu）是不適合在潔淨室工作的。
另外需要注意的，潔淨室的工作人員要（yào）對（duì）自己的口腔衛生，保（bǎo）持注意。潔淨室工作（zuò）人（rén）員要定期的進行身體健康狀況的檢查
16運行節能
●潔（jié）淨室（shì）送風、排風、新風之間應切換自如，如生產（chǎn）停止、排風櫃也應停止或減小風量，新風也應調小（xiǎo）。
●工藝（yì）並非絕對要求值班風機運行保護的，應采用提前開機自淨的辦法。
●潔淨室通風機轉速使其壓頭可以控製，不要總處於最（zuì）大壓頭（tóu）或最（zuì）大風量運行的工況。
●運（yùn）行應最（zuì）大限度地利用室外空氣冷卻作用，並在此時增大新風比。
●潔淨室（shì）應根據室外氣象條件（jiàn）變化（huà），通（tōng）過自控或手控（kòng）即能調整設備出力（lì）。
●縮小潔淨空間體積，如潔淨隧（suì）道或隧道式潔（jié）淨室，根據生產要（yào）求把潔淨空間劃分為潔淨度級別不（bú）同（tóng）的工藝區、操作區、維修區（qū）和通道區。
潔淨室(Clean Room)，亦稱無塵車間、無塵室或清淨室。潔淨室的主要功能為室內汙染控製，沒有潔淨室，汙染敏感零件不可能批量生產。在FED-STD-2裏麵，潔淨（jìng）室被定義為具備空氣過濾、分配、優化、構造材料和裝置的房間，其中特定的規則的操作程序以控製空氣懸浮微粒濃度，從而達到（dào）適當的微粒潔淨度級別（bié）。潔淨程度（dù）和控製汙染的持續穩定（dìng）性，是檢驗潔淨室質量的核心標準，該標準根據區域環境、淨化程度等因素（sù），分為（wéi）若幹等級（jí），常用的有國際標準和國內區域行業標準，一些知名淨化工程公司，在通（tōng）行標準之外（wài），還設有自身執行的高（gāo）於國際化通（tōng）行標準（zhǔn）的淨化指標，淨化能力和（hé）環境（jìng）適應力遠超國際品（pǐn）牌。
1簡介
潔淨室是指將一定空間範圍內之空氣中的（de）微粒子、有害空氣、細菌等之汙染物（wù）排除，並將室內之（zhī）溫度（dù）、潔淨（jìng）度、室內壓力、氣（qì）流速度與（yǔ）氣流分布、噪音振動及照明、靜（jìng）電控製在某一需（xū）求範圍內，而所給（gěi）予特別設（shè）計之房間。亦即是不論外在之空氣（qì）條件如何（hé）變化，其室內均能俱有維（wéi）持原先所設定要求之潔（jié）淨度、溫濕度及（jí）壓力等性能之特性。
潔淨室最主要之作用在於控製產品（如矽芯片等）所接觸之大氣的潔淨度日及溫濕度（dù），使產品（pǐn）能在一個良好之環境空間（jiān）中生產、製造，此空間我們（men）稱之為潔淨室。按照（zhào）國際慣例，無塵淨化級（jí）別主要是根據每立方米空氣中（zhōng）粒子直徑大（dà）於劃分標準（zhǔn）的（de）粒子數量（liàng）來規定。也就是說（shuō）所謂無（wú）塵並（bìng）非（fēi）100%沒有一點（diǎn）灰塵，而是控製在一個（gè）非常微量的單位上。當然這個標準中符（fú）合灰塵標準的顆粒相（xiàng）對於我們常見的灰塵已經是小的微（wēi）乎其（qí）微，但是對於光（guāng）學構造而（ér）言（yán），哪（nǎ）怕是一點點的灰塵（chén）都會產生非常大的負麵影響，所以在（zài）光學構造產品的生（shēng）產上，無塵是必然的要求。
每立方米將小於0.3微米粒（lì）徑（jìng）的微塵數量控製在3500個以（yǐ）下，就達到了國際無塵標準的A級。芯片級生產加（jiā）工的無塵標準對（duì）於灰塵的要求高（gāo）於A級，這樣的高標主要被應（yīng）用（yòng）在（zài）一些等級（jí）較高芯片生產上（shàng）。0.5uM及以下的微塵數量（liàng）被嚴格控（kòng）製在每立方英寸1000個以內，這也就是業內（nèi）俗稱的1K級別。
空態：已經建造完成並可以投入使用的潔淨室（設施）。它具備所有有關的服務和功能。但是，在設施內沒有操作人員操作的（de）設備。
靜態：各（gè）種功能完備、設（shè）定安裝妥當，可以按照設定（dìng）使用或正在（zài）使（shǐ）用的潔淨室（設施），但是設施內沒有操作人員。
動態：處於正常使用的潔淨室（shì），服務功能完善，有設備和人員；如果需要，可從事正常的（de）工作。
單向流（層流）潔淨室原理
在潔淨室內（nèi），從送風（fēng）口到回風口，氣流（liú）流經途中（zhōng）的斷麵幾乎沒有什麽變化，加上進風靜壓箱和高效過濾器的均壓均流作用，全室斷（duàn）麵上（shàng）的流速比較均勻，而至少在工作區內流線單向平行，沒有渦流。這也就（jiù）是單向流潔淨室的三大特點。這裏的流線單向平行，是指時均流線彼此平行，方向單一。
單向流潔淨室的流態從雷諾數判斷是紊流的，所以所謂層流潔淨室（shì）的層流和流體力（lì）學上的層流是完（wán）全不同的（de）概念（niàn）。因此，層流潔淨室這（zhè）個名詞是（shì）不（bú）貼切的，國外某些（xiē）標準和文（wén）章也指出這一點，例（lì）如英國（guó）標準BS-5295就曾把所（suǒ）謂層流潔淨（jìng）室定義為單向流潔淨室，隻是照顧（gù）習慣在（zài）括號中注明為層流（liú）。前聯邦德國標準VDl- 2083則用“非紊流的置換流”這一術語，並在注中指出，層流這一概念隻是為了區（qū）別早（zǎo）於層流潔淨室出現的（de）紊（亂）流潔淨室而在當時采用的習慣用語，“層流係統”的（de）確切意思並不是分層流動，而是紊流的置換流，用本章（zhāng）提到的概念（niàn）是紊流的漸變流。在流體力（lì）學中，這種流動狀態也可稱（chēng）平行流或單向流（liú）。1977年中國在《空（kōng）氣潔淨技術措施》中選用了“平行流”這個術語，在該術語後麵同時也指出習慣上稱“層流”。
在（zài）單向流潔淨室內，幹（gàn）淨氣流不是一股或幾股，而是充滿全室斷麵，所以這種潔淨室不是靠潔淨氣流對室內髒空氣的（de）摻混稀釋作用，而是（shì）靠潔淨氣流推出作用將室內髒空（kōng）氣沿整個斷麵排至室外，達到淨化室內空氣的目的。所以，前聯邦德國有人稱單向流潔淨室的氣流為（wéi）“活塞流”、“平推流”前蘇聯稱之為“被擠壓的弱（ruò）空（kōng）氣射（shè）流”。幹淨空氣就好比一個空氣活（huó）塞，沿著房間這個“氣缸”，向前（下）推進，而使塵粒隻能前（下）進，沒有返回，把原有的含塵濃度高的空氣擠壓出（chū）房間。
在單向流潔淨（jìng）室以及單向流淨化設備中，可（kě）以發現沿壁的和兩個過濾（lǜ）器搭接處（chù）下（xià）方的（de）反向氣流。這種氣（qì）流將把下方的汙染傳輸到上部再送下來，破壞了上述“活塞（sāi）流”的狀態，危害極大（dà）。對於和外界（jiè）有開口相通的局部淨化設備，例如潔淨工作台，這種（zhǒng）氣流將引射外界汙染氣流，在設計上一定要減小過濾器邊（biān）框處所占的無效（xiào）麵積，更要設法使（shǐ）空間的壁麵盡量接近過濾器有（yǒu）效迭風截麵。
通過上麵分析，可以認為保證單向流潔淨室特性（高潔淨度和快速自淨恢複能（néng）力）的重要先決條件有兩（liǎng）個：①來流的潔淨度；②來（lái）流的活塞流情（qíng）況；
對（duì）於來流的潔淨度，對通過高效以上過濾器送風的（de）單向流潔淨室來說是（shì）不（bú）成問題的，而對於來流的“活塞流”情況，則需作進（jìn）～步分析。
根據流（liú）體力學（xué）原理，來流條件對以後的流動狀況將有直接的重要影響，送風麵（miàn）出（chū）口氣（qì）流也就是工作區的來流。
來流的紊動性大，則（zé）將影響後（hòu）麵的單向流特（tè）性；來流未充滿流動截麵，則（zé）將影響後麵是否能形成“活塞流”和形（xíng）成的快慢；而來流未充滿流動截麵也是來流素動的一個因素。所以，在采用高效（xiào）過（guò）濾器的條件下，保證單向流潔淨室特（tè）性的（de）必要條件是“活（huó）塞流”，而（ér）“活塞流”的必要條件則是來流充滿流動截麵。但是，對（duì）一間房間而不是一（yī）段管道來說，讓氣（qì）流從頭至（zhì）尾完全充滿流動截麵也是不現實的。
最初，確實認為這種單向平行的氣流應該（gāi）充滿整個潔淨室（shì），但這在技術上和經濟上都是不利的。隨（suí）著認（rèn）識的發展，人們又指出這種單向流隻是“在有限的領域內全部空氣沿平行流線（xiàn）以等速流動的意思”，並（bìng）認為能極力抑製渦流的（de）發生。通過全空間的清潔空氣的單向流特性占支配地位的（de）那樣（yàng）的房間，也稱為單向流潔淨室。這就是說，不要求在整個房間都具有單向平行的流線，均勻的（de）速度（dù），沒有渦流，而是隻要求單向平行流特性在這個房間中占（zhàn）支配地位，例（lì）如（rú）在整個工作區這一層（céng）空間保證了單向流，這個房間就是單向流潔淨室。前麵介紹過的國內外有關標準（zhǔn）、措施中關於單向流潔淨室達到的高潔淨度（dù），就是指在工作區內達到的潔淨度。因此，密集布置的流線型散流器頂送（sòng）和全孔板頂送，也被（bèi）作（zuò）為實現垂直單向流的手段使用。
亂流原（yuán）理
潔淨室按其氣流狀態來區分，主要分為亂流（非單向流）潔淨室、單向流潔淨室和輻流潔淨室（也有稱矢（shǐ）流潔淨室的），這一節主要討論亂（luàn）流潔淨室。前麵（miàn）已經指出，不論是哪一種潔淨室，都（dōu）是紊流（liú）流（liú）態。那為什麽不（bú）都叫紊流潔（jié）淨室呢（ne）？
亂流潔淨（jìng）室的名稱是借用於日文，但是日文的亂流就是紊流的意思，而中國最早在《空氣潔淨技術措施（shī）》中正式采用（yòng）的亂流一詞是兼有紊流（liú）的含義而（ér）不同於（yú）流體力學（xué）上的紊流這一專有名詞。國際上習慣稱這種潔淨室為非單向流潔淨室。
所謂亂流（liú）潔淨室，一（yī）般包括以下各種送風（fēng）形式：
⑴高效過濾器頂送（有（yǒu）擴散（sàn）板和無擴散板
⑵流線型散流器頂進
⑶局部孔板頂送
⑷側送
具有這些送風形式的潔淨室，如以雷諾數判斷，顯然屬於紊流流態，但是如（rú）果把（bǎ）它們稱（chēng）為紊流潔淨室就不合適（shì）。氣流（liú）沿整個頂棚下送，室（shì）內速度達到0.25m/s 以上，這種室內的流（liú）動狀態也是紊流，但在後麵就會搞清楚，雖（suī）然這兩種（zhǒng）送風方式都造成室內紊流流態，但是就其淨化室內空（kōng）氣的原理（lǐ）來說，卻是根本不同（tóng）的，後者屬（shǔ）於單向流或（huò）平行流潔淨室的淨化原理。所（suǒ）以如果把前（qián）者稱為紊流潔淨室，則後者也應被包（bāo）含進去了。
亂流潔（jié）淨室的主要特點是從來流到出流（liú）（從送風口到回風口（kǒu））之間氣流的流通（tōng）截麵是變化的，潔淨室截麵（miàn）比送風口截麵大得多，因而不能在全室（shì）截麵或者在全室工作區截麵形成勻速氣流。所以，送風（fēng）口以後的流（liú）線彼（bǐ）此有很大或者越來越大的夾（jiá）角（jiǎo），曲率半徑很小，氣流在室內不可能以單一方向流動，將會彼（bǐ）此撞擊（jī），將有回流、旋渦產生（shēng）。這就決定亂流潔淨室的流態實質是（shì）：突（tū）變流；非均勻流。
這比用（yòng）紊流來描述亂流潔淨室更確切、更全麵（miàn）。紊流主要決定於雷諾數，也就是主要受流速的影（yǐng）響，但是如果采用（yòng）一個高效過濾器頂送的送風形式，則即使流（liú）速極低，也要產生（shēng）上述（shù）各種結果，這就因（yīn）為它是一個突變流和非均勻流。因此這種情況下不僅有流層之間因紊流流動而發生的摻混（hún），而且還有全室範圍內的大（dà）的回流、旋渦所（suǒ）發生的（de）摻混。
所以，概括（kuò）地說，亂流潔淨室的作用原理是（shì）：當一股幹淨氣流從送（sòng）風口送入室內時，迅速向四周擴（kuò）散、混（hún）合，同時把差不多（duō）同樣數量的氣流從回風口排走，這股幹淨（jìng）氣流稀釋著室內汙染的空氣（qì），把原來含塵濃度很高的室內空氣（qì）衝淡了，一直達（dá）到平衡。所以氣（qì）流擴散得越快，越均勻，稀釋的效果就越好。所以（yǐ）亂流潔淨室的原理（lǐ）就（jiù）是稀釋作用。
2所需材料
潔淨室在進行淨化工程施（shī）工的時候，需要用到以下設備：
A． 裝飾結構類：
1：潔（jié）淨室所需要的淨化設備主要有：風淋室貨淋室 層流罩（FFU）傳遞窗高效送風口（分為（wéi）普通高效送風口，一體化高效送風口，可更換濾網的高效（xiào）送風口） 泄壓閥 風量調節閥等，潔淨室做好後有的局部淨化級別要求特別高，因此我們推薦客戶使用潔（jié）淨工作台，潔淨棚（péng）等淨化設備。
2：圍體結構彩鋼板（各種鋁（lǚ）型材 槽鋁 T型（xíng）大梁鋁 角鋁 外形（xíng）柱鋁 外圓片（piàn） 三維接頭 門堵頭 內圓弧線 門料 窗料等） 輔助材料角鐵 圓鋼 膠塞 白（bái）功釘 拉爆（bào）鉤等）
B．空調通風部分：
1.空調通風部分（fèn）主要（yào）材料有空調主機（jī），送回風管，鍍鋅（xīn）水管（或者PVC水管） 水塔 閘閥水泵 Y型過濾器 橡膠軟管 止回（huí）閥 水流開關 溫度計 壓力表 水過濾器 各種管碼（mǎ）
2：通風部分的主要材料有中（zhōng）效增壓箱 風閥 風量調節閥 初效防雨百葉 風回百葉 初效過濾器（qì） 中效過濾器（qì） 高效過濾器 層流罩（FFU） 保溫棉 保濕軟管 各種輔材
C． 電器部分：
1、空調電路
2、淨化設備電路
3、照明電路
D． 地麵部（bù）分：
1、環氧樹脂地坪
2、PVC地板
3、高架地板地麵
3所（suǒ）需（xū）設備
風淋室
風（fēng）淋室係（xì）列產品（pǐn）是一（yī）種通用性較強的局部淨化設備，安（ān）裝於潔淨室與非（fēi）潔淨室之間。當人與貨物要進入潔淨（jìng）區時需經風淋室吹淋（lín），其吹出的（de）潔淨空氣可（kě）去除人與貨物（wù）所攜帶的塵埃，能有效（xiào）的阻（zǔ）斷或減少塵源（yuán）進入潔淨區（qū）。風淋（lín）室/貨淋室的前後兩道門為電子互鎖，又可起到氣閘的作用（yòng），阻止未（wèi）淨化的空氣進入（rù）潔淨區域。
貨淋室
貨淋室，固（gù）名思義，即為貨物專用的吹淋室，又稱之為貨（huò）淋通道、貨淋門、廣泛適用於電子（zǐ），食品、包裝企業（yè）的物流通道處，對即將進入潔淨車間進行操作加工的貨物原材料及工具進行吹淋，達（dá）到過濾去除灰塵粒子，進入無塵車間的原材料潔淨的效果.因每個企業物流通（tōng）道的現場（chǎng）尺（chǐ）寸以及（jí）需（xū）要吹淋的貨物原材料運輸方式（shì）大（dà）小（xiǎo）的不同，故貨淋室沒有統一的標準，全部為非標產品。貨淋在功能上（shàng）既有（yǒu）普（pǔ）通型貨（huò）淋室，又有紅外線語音提示型貨淋室，還有自動移門式貨淋室。
傳遞窗
傳遞窗主要適用於潔淨區與非潔淨區之間，或潔淨（jìng）室與潔淨室之間的小貨物傳遞，可有效的減少潔淨室門的（de）開啟次數，把潔淨區的汙染減少的最低程度（dù）。根據使用要求，傳遞窗（chuāng）箱體表麵可（kě）噴塑（sù），內膽（dǎn）可用不鏽（xiù）鋼，外表美觀。傳遞（dì）窗的兩扇門采用電控連鎖或機械連鎖裝置，可有效的防止低潔淨等級區內的灰塵（chén）帶入（rù）高潔淨區內，是淨化車間必備佳品。
高（gāo）效送風口
本產品為萬級，十萬級亂流潔淨室新建，改（gǎi）建工程淨化空調係統終端送風裝置。可廣泛應用與電子工業，精密機械，冶金，化工等工（gōng）業及醫療，製藥，食品等（děng）部（bù）門的淨化空調係統。本裝（zhuāng）置主要由靜壓箱，高（gāo）效過濾（lǜ）器，鋁合金擴散板，標準法蘭接口等組成，造型美觀，結構簡單，使（shǐ）用可靠。 本送風口為下裝式，具（jù）有在（zài）潔淨室內安（ān）裝（zhuāng）和更換過濾器方便的優點，高效過濾器采用機械壓緊或液槽密封裝置，確（què）保風口安裝無泄露，密封可靠，淨化效果好，對一般淨化工程均可適（shì）用。
潔淨工作（zuò）台
無塵車間內的潔淨工作台可根據（jù）產（chǎn）品要求或其他用途的要求，在（zài）操作台上保持高潔淨度的局部淨化。潔淨工作台可以在操作台的局部空間形成（chéng）無菌、無（wú）塵的局部淨化（huà），其主要組成部件有預（yù）過濾器、高效過濾器、風機機組、外殼、靜壓箱、台麵和配套的（de）電器元器件等。
無（wú）塵車間的潔淨工作台的構造要求：台麵，采用木質塑料貼麵貼於層壓板上做成台麵，或采用不鏽鋼做（zuò）台麵；箱體，用熱紮薄鋼板與骨架氣（qì）焊（hàn）易變形，可采用冷軋薄板折邊搭接，大電流電焊，內表麵需（xū）粘貼消聲材料，最大尺寸應以通（tōng）過一般房門為宜；箱體密封，所有縫隙均采用密封（fēng）膠（jiāo）密（mì）封（fēng）；操作區截麵應盡可能與空（kōng）氣過濾器送風截麵（miàn）相同，盡量減少盲區；風（fēng）機、電機，選用高壓低噪的小型風機，風機與（yǔ）箱體的連接采用軟連接，電機及風機均應（yīng）采取減振措施；燈罩，日光燈要（yào）盡量（liàng）設置在燈罩內，燈罩內要通過潔淨氣流；預過（guò）濾（lǜ）器，須設置預（yù）過濾器，容量要大，在使用（yòng）風量下，初阻力宜小於50Pa；高效過（guò）濾器，盡量采用大麵積（jī）的過濾器，減少空氣過濾器的數量，過（guò）濾器與（yǔ）框架（jià）之間的密（mì）封應采用封（fēng）導結合的雙環密封係統。
FFU風機過濾單元
風機過濾單元（FFU）是一種空氣自（zì）淨裝（zhuāng）置，可室內（nèi）吊頂安裝或放置在支架上，使局部級別達到百級。也可用（yòng）於潔（jié）淨室末端送風。該產品設有初、高效兩級過濾裝置。風機從頂部（bù）將空氣吸入並經初、高效過濾器過濾，過濾後的潔淨空氣在整個出風（fēng）口送出。安裝方式有懸（xuán）掛式和落地支架兩種。
風機從FFU頂部將空氣（qì）吸入並經初、高效過濾器過濾，過濾後的潔（jié）淨空氣在整（zhěng）個出風麵以0.45M/S±20%的風速勻速送出（chū）。它為不同尺寸大（dà）小，不同潔淨度等級的（de）潔淨（jìng）室、微環境提供高質量的潔淨空氣。在新建潔淨室、潔淨廠房式改造翻新中，即可提高潔（jié）淨度級別，降低（dī）噪音和振動（dòng），也可大大降（jiàng）低造價，安裝維護方便（biàn），是潔淨環（huán）境的理想部件。
層（céng）流罩
層流罩一種可提供局部高清潔環境的空氣淨化設備。它主要有箱體，風機，初效空氣過濾（lǜ）器，高效空氣過濾器。阻尼層，燈具等組成，箱（xiāng）體（tǐ）噴塑或（huò）采用不鏽鋼材料。該產（chǎn）品即可以懸掛，又可地麵支撐（chēng），結（jié）構緊湊，使（shǐ）用方便。可以單個使用，也（yě）可多個聯接組成（chéng）帶（dài）狀潔淨區域。廣泛用（yòng）於（yú）精密機械，電子，製藥，食品，精細化工等部門。
4控管（guǎn）項目
1、能除去（qù）空氣（qì）中飄（piāo）遊之微塵（chén）粒子。
2、能防止微塵粒子（zǐ）之產（chǎn）生。
3、溫度和濕度之控製。
4、壓力之調節。
5、 有害氣體之排（pái）除。
6、結構物與隔間（jiān）之氣（qì）密（mì）性。
7、靜電之防製。
8、電磁幹擾預防。
9、安全因素之考慮。
10、節（jiē）能之考量。
5淨化方法
空氣（qì）淨化方法
1 、整體淨化（huà）：可分為層流型和湍（tuān）流型。層流是指空氣由（yóu）一側全麵地以同（tóng）速流向另一側，使室（shì）內產生的塵粒或（huò）細菌不（bú）會向四周擴散（sàn）而被平推出室外，而達到好的除菌效果。
⑴高效過（guò）濾除菌技術：空氣潔淨主要靠高效或（huò）超高效過濾設備，向特定的環境（jìng）內輸送潔（jié）淨空氣並能保持空氣的潔淨度（dù）。過濾潔（jié）淨原理：①網截阻留；②篩孔阻留；③靜電吸引阻留；④慣性碰撞和布朗運動（dòng）阻留。因此，過濾潔淨技術是一（yī）種綜合作用的結果。
⑵濾材結構：生物潔淨室所用濾材級別多數為高效或超高效濾材，所用濾材有：玻璃棉製濾材、高級紙漿製濾材（cái）、石棉纖維濾材、過氯乙烯（xī）纖維濾材等。高效濾材對空氣中 0.5 μ m 的顆粒的阻留率能達到 90%~99% ，超高效濾（lǜ）材可阻留 0.3 μ m 的顆粒 99.9% 以上。
2 、局部（bù）淨化
⑴潔淨層（céng）流罩：潔淨層（céng）流罩是醫院局部空氣淨化裝置。一般可構成垂直層流方式（shì），四周用透明圍幕。整個（gè）罩內可保持高潔淨度（萬級至百（bǎi）級）空氣。這種潔淨層（céng）流罩可用於免（miǎn）疫功能低（dī）下病人的治療保護，所以也稱無菌病床層流（liú）罩。
⑵淨（jìng）化操作台：采用水（shuǐ）平或垂直層（céng）流方式淨化箱體內的空氣（qì），可使（shǐ）操（cāo）作台內（nèi）淨化達到很高級別。
⑶靜（jìng）電（diàn）吸附除菌淨（jìng）化技術：靜電吸附（fù）除菌（jun1）是（shì）利用工業（yè）電除塵的原理，在（zài）小型化技術方麵有所創新（xīn）。①采用細線（xiàn）放電（diàn）極與蜂巢（cháo）狀（zhuàng）鋁箱收集（jí）極形成級線裝置；②采用鏡象力荷（hé）電吸附作用。
目前有一種三級淨化（huà）裝（zhuāng）置，即預過濾 - 高效過濾 - 活性炭吸附，組合式正離子靜電吸（xī）附除菌，並采用大風量空氣淨化，以保證室內空氣（qì）淨化次（cì）數，較好地解決了醫院重點部門如手術室、 ICU 、母嬰病房、血（xuè）液透析室等有人情況下的空氣持續消毒問題，可使（shǐ）醫院室內空氣的淨化潔淨度達到（dào） 10 萬級 ~1 萬級。
⑷負離（lí）子（zǐ）淨化技術：負離（lí）子是一種（zhǒng）帶負電的化學基團，能發生（shēng）可逆性變化，存在（zài）時間極短（duǎn），本身並無殺滅（miè）微生物的能力，主要是靠帶電（diàn）離子與空（kōng）氣中的微粒特別是微生物顆粒結合，形成多個顆（kē）粒凝（níng）聚變大從而迅速沉降，使空氣達到淨化的目的。空氣中負離子隻有在具備某些化（huà）學性質時，如活（huó）性氧離子等，它們才具有侵害蛋白質的能力從而殺滅微生物，因（yīn）此負（fù）離子對空氣（qì）淨化的能力比較（jiào）有限，對空氣（qì）中微生物粒子清除率隻能達到 70%~90%。
6工作方式
亂流式
空氣由空調箱經風管與潔（jié）淨室內之空氣過（guò）濾器（HEPA)進入潔淨室，並由潔淨室兩側隔間牆板或（huò）高架地板回風（fēng）。氣（qì）流非直線型運動（dòng）而呈（chéng）不規則之亂流或（huò）渦流狀態。此型（xíng）式適用於（yú）潔淨室等級1,000-100,000級。
定義：氣流以不均（jun1）勻速（sù）度不平行流動、伴有回流或渦流的潔淨室。
特性：亂流（liú）潔淨室是靠多次換氣來實現潔淨與潔淨級別。換氣（qì）次數決（jué）定定義中的淨化級別（bié）（換（huàn）氣次數越多，淨化級別越高）
⑴自淨時間：是指潔淨室按設計換氣（qì）次數開始送風到潔淨室，室內含塵濃度達到所設計的淨化級別的（de）時間。1,000級希（xī）望不超過20min（分鍾） （可取15min計算） 10,000級希望不超過30min（分鍾） （可取25min計算（suàn）） 100,000級希望不超過40min（分鍾） （可取30min計算）
⑵換（huàn）氣次數（按上述自淨時間要求設計）1,000級 43.5—55.3次/小時 （規範：50次/小時） 10,000級 23.8—28.6次/小時 （規範：25次/小時） 100,000級 14.4—19.2次/小時 （規範：15次/小時）
優點：構造簡單、係統建造成本，潔淨室之擴充比較容易，在某些特殊用途場所，可（kě）並用無塵工作台，提高潔（jié）淨室等級（jí）。
缺點：亂（luàn）流造成的（de）微塵粒子於（yú）室內空間飄浮不易排出，易汙染製（zhì）程產品。另外若係統停止運轉再激活，欲達需求之潔淨度，往往須耗時相當長一段時間（jiān）。
層（céng）流式
層流式空（kōng）氣氣流運動成一均勻之直線形，空氣由覆蓋率100%之過濾器進入室內，並由（yóu）高架地板或兩側隔牆板回風，此型式（shì）適用於潔淨室等級需（xū）定較高之（zhī）環境使用，一（yī）般其潔淨室等級為Class 1~100。其型式（shì）可分為二種：
⑴水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹（chuī）出，由對邊牆（qiáng）壁之回風係統回風，塵埃隨（suí）風向排出室外，一般在下流側（cè）汙染較嚴重。
優點：構造簡單，運轉後短（duǎn）時（shí）間（jiān）內即可（kě）變成穩定。
缺點：建造費用比亂流式高，室內空間不易（yì）擴充。
⑵垂直層流（liú）式：房間天花板完全以ULPA過（guò）濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔淨度（dù），在製程中或工作人員所（suǒ）產生的塵埃可快速排出室外而不會影響其它工作區域。
優點：管理容易，運轉開始短時間內即（jí）可達穩（wěn）定狀態，不易為作業（yè）狀態或作業人員所影響。
缺點：構造費用較高，彈性運用（yòng）空（kōng）間困難，天花板之吊架相當占空（kōng）間，維修更換過濾器較麻煩（fán）。
複合式
複合式為將亂流式及層流式予以複合或並（bìng）用，可提供局部超潔淨之（zhī）空氣。
⑴潔淨隧道（Clean Tunnel）：以HEPA或（huò）ULPA過濾器將製程區域或工作區域100%覆蓋使潔淨度等級（jí）提高至10級以（yǐ）上（shàng），可節省安裝運轉費（fèi）用。
此型（xíng）式需（xū）將作業人員之工作區與產品和機器維修（xiū）予以（yǐ）隔離，以避免機器維修時影響了工作及品質，ULSI製（zhì）程大都采用此種（zhǒng）型式。
潔淨隧道另有（yǒu）二項（xiàng）優點：A.彈性（xìng）擴充容易； B.維（wéi）修設（shè）備時可在維修區輕易（yì）執行。
⑵潔淨管道（Clean Tube）：將產品流程經過的自動生產線包（bāo）圍並（bìng）淨化（huà）處理，將潔淨度等級提至100級以上。因產品和作業員及發塵環境相互隔（gé）離，少量之送風（fēng）即可得到（dào）良好之潔淨度，可節省能源，不需人工的自（zì）動化生產線為最適宜使（shǐ）用。藥品、食品業界及半導體業界均適用。
⑶並裝局部潔淨室（Clean Spot）：將潔淨室等級10,000~100,000之亂流潔淨室內之產品製（zhì）程區的潔淨度等級提高為10~1000級以上，以（yǐ）為（wéi）生產之用；潔淨工作台、潔淨工作棚、潔淨風（fēng）櫃即屬此類。
潔淨工作台：等（děng）級Class 1~100級。
潔淨工（gōng）作（zuò）棚：為在亂流式之（zhī）潔淨室空間內以防靜電之透明塑料（liào）布（bù）圍成一小空間，采用獨立之HEPA或ULPA及空調（diào）送風機（jī）組而成為一較高級之潔淨空間，其等級為10~1000級，高度（dù）在（zài）2.5米左右，覆蓋（gài）麵積約10m2以下，四支支柱並（bìng）加裝活動輪，可為彈性（xìng）運用。
7風（fēng）速控製
潔淨室內的（de）氣流是左右潔淨室性能的重要因素，一般潔淨室的氣流（liú）速度是選0.25~0.5m/s之間，此氣流速度屬微風區域，易受人、機器（qì）等的動作而幹擾趨於混（hún）亂、雖（suī）提高風速可抑製此一（yī）擾亂之影響而（ér）保持潔（jié）淨度（dù）、但因風速的（de）提高，將影響運轉成本的增（zēng）加，所（suǒ）以應在滿足要求的潔（jié）淨（jìng）度水準之（zhī）時，能以最（zuì）適當的風速供應，以達到適當（dāng）的風速（sù）供應以達到經濟性效果。
另一（yī）方麵欲達到潔淨室潔淨度之（zhī）穩定效果，均一（yī）氣流之保持亦為一重要因素（sù），均一氣流若無法保（bǎo）持，表示風速有異（yì），特別是在壁麵，氣流會延著壁麵發生渦流作用，此時要實現高潔淨度（dù）事實上（shàng）很困難。
垂直層（céng）流式方向要保持均一氣流必（bì）須：（a）吹出麵的風速不可有速度上的差（chà）異；（b）地板（bǎn）回風板吸（xī）入麵之風速不可有速度上的差異。速度過低或過高（0.2m/s，0.7m/s）均有渦流之現象發（fā）生，而0.5m/s之速度，氣（qì）流則較（jiào）均一，一般潔淨室，其風速均取在0.25~0.5m/s之間。
8影響因（yīn）素（sù）
影響（xiǎng）潔淨室的氣流因素很多，如製程設備、人員、潔淨（jìng）室組裝材、照明器具（jù）等，同時對於生產設備上（shàng）方氣流的分流點，亦應列入考慮因素。
一般操作台或生產（chǎn）設（shè）備等表麵的氣流分流點，應（yīng）設於（yú）潔淨室空間與隔牆板間距2/3之處，如此可使作業人員工作時（shí），氣流可從製程區內部（bù）流向作業區，而將微塵帶走；若分流點配置在製程區前方，將（jiāng）成為不當的氣流分流，此時大部份的氣流將流（liú）至製程區之後，作業員操作所引起的塵埃將被帶到設備後麵（miàn），工（gōng）作台因（yīn）而將受到汙染（rǎn），良率也勢必降低。
潔淨室內（nèi）的工作桌等障礙物，在相接處均會有（yǒu）渦流現象發生，相對地（dì）在其附近（jìn）之潔淨度將（jiāng）會較差，在工作桌麵鑽上回風孔，將使渦流現（xiàn）象減少最低；組裝材料之選擇（zé）是否恰當、設備布局是否完善，亦為氣流是否成為渦流現象之（zhī）重要因素。
潔淨（jìng）室的構成是由下列各項係統所組成（在所組成的係（xì）統分子中是缺一不可的），否則將無法構成一完整且品質良好的（de）潔淨室：
⑴天花（huā）板係統：包括吊杆（Ceiling rod）、綱梁（I-Beam或（huò）U-Beam）、天花板格子梁（liáng）（Ceiling grid或 Ceilingframe）。
⑵空調係統：包括空氣艙、過濾器係統（tǒng）、風車等。
⑶隔牆（qiáng）板（Partitional wall）：包括窗（chuāng）戶、門（mén）。
⑷地板：包括高架（jià）地板或防靜電舒（shū）美地板。
⑸照明器具：包括日光燈、黃色燈（dēng）管等。
潔淨室之建築主體構造，一般是用（yòng）鋼筋或骨水泥，但（dàn）無論是何種構造，必須滿足如（rú）下之條件：
●不會因溫度變化與振動而發生裂痕；
●不易產生微（wēi）塵粒子，且很難附著粒子；
●吸濕性小；
●為了維持室內之濕度條件，熱絕緣性要高。
9重（chóng）要性
潔淨室的潔淨度（dù）往往受到氣流的（de）影響，換言之，即人（rén）、機器隔間、建築結構等所（suǒ）產生的塵埃之移動、擴散受到氣流的支（zhī）配。
潔淨室係利用HEPA、ULPA過濾空氣，其塵（chén）埃的收（shōu）集率達99.97~99.99995%之（zhī）多，因此經過此過濾（lǜ）器（qì）過濾（lǜ）的（de）空氣可說（shuō）十分幹淨。然而潔淨室內除了人（rén）以外，尚有機器等之發塵源，這些發生的塵（chén）埃一旦擴散，即無（wú）法（fǎ）保持潔淨空間，因此必須利用氣流將發生的塵埃迅速（sù）排出室外。
10應用領（lǐng）域（yù）
工業
以無生命微粒的控製為（wéi）對象。主（zhǔ）要（yào）控製空氣（qì）塵埃微粒對工作對象的汙染，內部（bù）一般保持正壓狀態。它適用於精密機械工業、電子工（gōng）業（半導體、集（jí）成電路等）宇航工（gōng）業、高純（chún）度化學工業、原子能（néng）工（gōng）業、光磁產品工業（光盤、膠片、磁帶生產）LCD（液晶玻璃（lí））、電腦硬盤、電腦磁頭生產等多行業。
生物（wù）
主要控製有生命微粒（細菌）與無生命（mìng）微粒（塵埃）對工作對象的汙染。又可分為（wéi）：
A、 一般生物潔淨室：主要控製微生物（細菌（jun1））對象（xiàng）的汙（wū）染。同時其內部材料要能經（jīng）受各種滅菌劑侵蝕，內部一般保證正壓。實質上其內部材料要能（néng）經受（shòu）各種（zhǒng）滅菌處理的工業潔淨室。例：製藥工業、醫院（手術室、無（wú）菌病房）食品（pǐn）、化妝品、飲料（liào）產品生產、動物實驗室、理化檢驗室、血站等。
B、 生物學安全潔淨室：主要控製工作對象的有生命微粒對外界和人的汙染。內部要保持與大氣的負壓。例：細菌學、生物學、潔淨實（shí）驗室（shì）、物（wù）物工程（重組基因、疫苗製備）。
相關知識
11工作量
發塵（chén）量
潔淨室內的發塵量，來自設備的可考慮通（tōng）過局部排風排除，不流入室內（nèi）；產品（pǐn），材料等在運送過程中的發塵與人體發塵量相（xiàng）比，一般極小，可忽略；由於金屬（shǔ）半壁（bì）（彩鋼夾心板）的應用來自（zì）建築表麵的發塵也很少，一般占10%以下，發塵主要（yào）來自人，占90%左右。在人的發塵量上，由於服裝材料和樣式的改進，發（fā）塵絕對量也不斷減少。
A、材（cái）質：棉質發塵量最大，以下依次為（wéi）棉、的確良、去靜電純滌綸、尼龍。
B、樣式：大掛式發塵量（liàng）最大，上下分裝型次之，全罩型最少。
C、活動：動（dòng）作時的發塵量一般達到靜止時間3-7倍（bèi）。
D、清洗：用溶劑洗滌的發塵量降至用一（yī）般水清洗的五分之一。
室內維（wéi）護結構表麵發塵（chén）量，以地麵為準，大約相應8平方（fāng）米地麵時的表麵發塵量（liàng）與一個靜止的人的發塵量相當。
發菌量
工作人員產（chǎn）生的汙染：
1）皮膚：人類通常每四（sì）天完成（chéng）一次（cì）皮膚的完全脫換，人類每（měi）分鍾脫落（luò）約1000片皮膚（平均大小為30*60*3微米）
2）頭發：人類的頭發（直徑約為50~100微米）一（yī）直在脫落。
3）口水：包括鈉、酶、鹽、鉀、氯化物及食品微粒。
4）日常衣物：微粒、纖維、矽土、纖維素、各種化學品和細菌。
5）人類靜止和坐立每分鍾將產（chǎn）生10000個大於0.3微米的微粒。
6）人類在頭部和軀幹做動（dòng）作（zuò）時每分鍾將產生1000000個大於0.3微米的（de）微粒（lì）。
7）人類以0.9m/s的速度行走時每分鍾將產（chǎn）生5000000個（gè）大於0.3微米（mǐ）的微粒。
分析國外試（shì）驗（yàn）資（zī）料可以認為：
⑴ 潔淨室內當工作人員穿無菌服時：
靜止時（shí）的發菌量一般為10-300個/min.人（rén）
軀體一般活動時的發菌量為（wéi） 150-1000個（gè）/min.人
快步行走時（shí）的發菌量（liàng）為 900-2500個/min.人
⑵ 咳（ké）嗽一次一般為 70~700個/ min.人
噴嚏一次（cì）一般（bān）為 4000~62000個/ min.人
⑶ 穿平常衣服時發菌量 3300~62000個/ min.人
⑷ 無口罩發菌量：有口罩發菌量 1:7~1:14
⑸ 發菌量：發塵量 1:500~1:1000 據（jù）國內事例：
⑹ 手術中人員發菌量 878個/ min.人
所以，可知潔淨（jìng）室（shì）內無菌衣人（rén）員的靜態發菌量一般不超過300個/ min.人，動態發菌量一般不超過1000個/ min/人，以此作為計算依據（jù）是可行的。
12執行標（biāo）準
國內標準
⑴.潔淨廠房設計規範 GB50073-2001
⑵.醫院潔淨手術部建築技（jì）術規範GB50333-2002
⑶.醫藥工（gōng）業潔（jié）淨廠房設（shè）計規範（fàn）GB 50457-2008
⑷.傳（chuán）染（rǎn）病醫院建築設計規範
⑸.醫藥（yào）工業潔淨室（區）懸浮粒子的測試方法（fǎ）GB/T16292-1996
⑹.QS認證質（zhì）量手冊（cè）
⑺.GMP藥品生產質（zhì）量管理規範
⑻. 潔淨室施工（gōng）及驗收規範GB 5091-2010
際標（biāo）準
ISO係列（liè）
⑴ISO14644-1空氣潔淨度等級劃分
⑵ISO14644-2 為認證ISO14644-1的 連續的（de）相符性的測試和監測技術要（yào）求
⑶ISO14644-3 測試方法
⑷ISO14644-4 設計建造啟動
⑸ISO14644-5 運行（Operations)
⑹ISO14644-6 術語和定義
⑺ISO14644-7 分離裝置（潔淨空（kōng）氣罩、手套箱、分離器和微循環設備（bèi）
⑻ISO14644-8 分子汙染
⑼ISO14644-9 潔淨化學品（液體（tǐ））
IEST係列
潔（jié）淨空氣：
RP-CC001高效與超高效過濾（lǜ）器
RP-CC002單向流裝置
RP-CC006潔淨室測試RP-CC007超高效過（guò）濾器測（cè）試
RP-CC008氣體吸收裝置
RP-CC021高效與超（chāo）高效過濾器（qì）過濾器介質（zhì）測試
RP-CC034高效（xiào）與超高效過（guò）濾（lǜ）器過濾器檢漏
潔淨室與潔淨環境：
RP-CC006潔淨室測試
RP-CC012潔淨室設（shè）計要點
RP-CC016潔淨室非揮發性殘留物質的沉（chén）積率
RP-CC018潔淨室管理運行（háng）與檢測程序（xù）
RP-CC022潔淨（jìng）室（shì）與受控環境中的靜電
RP-CC023潔（jié）淨室中的微生物
RP-CC024微（wēi）電子設備震動測量與說明
RP-CC026潔淨室運行
RP-CC027潔淨室與受控（kòng）環境中人員與行為
特殊應用：
RP-CC029使用噴漆器要考慮的汙染控製因素
運行保障：
RP-CC003淨室與受控環境的服裝係（xì）統要點
RP-CC004淨室與受控環境用抹布材料評估
RP-CC005淨室與受（shòu）控環境用手套（tào）和指套
RP-CC020潔淨室文件材（cái）料與格式
設備：
RP-CC002單向流（liú）裝置
RP-CC013設備校準與（yǔ）檢（jiǎn）驗程序
RP-CC015潔淨室生（shēng）產設備與輔助設備
術語：
RP-CC011汙染控製（zhì）領域術語和定義
文獻：
RP-CC009汙染控製領域的標（biāo）準、準則、方法與（yǔ）相關文件概覽
詳細參數
潔淨標準與潔淨等級 (ISO 國際標準）
各粒徑檔最大容（róng）許粒子濃度 （顆（kē）/m3）
ISO等級 0.1um 0.2um 0.3um
1 10 2
2 100 24 10 4
3 1，
4 10，000 2，370 1，020 32 83
5 100，000 23，700 10，
6 1，000，000 237，000 102
空氣潔淨度應按下表規定劃分（fèn）為四個等級。
空氣潔淨度等級表
等級
每立方米（每升）空氣中
≥0.5微米塵粒數
每立方米（mǐ）（每升）空（kōng）氣中（zhōng）
≥5微米塵（chén）粒數
100級
≤35×100(3.5)
1000級
≤35×1000(35)
≤2500(0.25)
10000級
≤35×10000(350)
≤25000(2.5)
100000級
≤35×100000(3500)
≤25000(25)
注：對於空氣（qì）潔淨度為100級的潔淨室內大於等於5微（wēi）米塵粒的計算應進行多（duō）次采樣。當其多次出現時，方可認為該測（cè）試數值是可*的。
13應用範圍（wéi）
淨化工程（chéng）是一個（gè）應用行（háng）業非（fēi）常廣（guǎng）泛的基礎性配套產業，在電子信息、半導體、光電子、精密（mì）製造、醫藥衛生、生物工程、航天航空、汽車噴塗（tú）等眾多行業均有應用，並根據行業的精密與無塵要求，等（děng）級差別（bié）也較大。
目前級別（bié）最高的當屬航（háng）天航空的航（háng）空倉，基本是屬於1級，屬於特殊領域，麵積相對較小。
另外對級別要（yào）求較高的是生物化學實驗室（shì）和高精納米材料生產車間，互聯網（wǎng）芯片的發展將是未來需求的一（yī）大方向。
14八大特點
第一點，采用更適（shì）合潔淨室原理的圓弧轉角（jiǎo）；
第二點，係統自動控製（zhì）運行，雙門電子互鎖，並設有光（guāng）電感應器，單向通道風淋室，從（cóng）非潔淨（jìng）區進（jìn）入，關門後紅外線感應有人就（jiù）吹淋，吹淋後入門鎖閉，隻能從出門走（zǒu）出風淋室；
第三點（diǎn），整體冷軋鋼板製作（zuò），外（wài）表麵靜電噴塑處理；
第四點，門、底板、噴嘴均采（cǎi）用不鏽鋼（gāng）製造，美觀（guān）大方；
第五（wǔ）點，軟鍵觸按式時間繼電器，LED顯示及設置吹淋時間，範圍在10-99s可調，吹淋（lín）時雙門自動鎖閉；
第六點（diǎn），采用初、高效兩級過濾係統，有隔板高效過濾器，過濾效率為：99.99%，確保淨化（huà）級別；
第（dì）七點，風嘴出風（fēng）口風速高達25m/s以上，吹到人體上風速18m/s以上；
第八點，采（cǎi）用EVA密封材料，密閉性能（néng）高。
15人（rén）員規範
為了避免和減（jiǎn）少潔淨室（shì）從業人員對潔淨室造成的汙染。任何潔（jié）淨室工作以外的人員，在與潔淨室工作人員捷星接觸談話時，要將自己背對過去，因為口鼻會向注視的方（fāng）興散發汙染。
做到（dào）口鼻不對潔淨室的工作區。
如果出現咳嗽或者打噴嚏的情況，要做到（dào）背對潔淨室的工作區用手套掩住，然後及時更換手套。情況嚴重的者應立即離開潔淨室（shì）區（qū）域，並向領導報告。
潔淨室內（nèi）不得放（fàng）置於潔淨室工作無關的物（wù）品。潔淨室工（gōng）作物品要排放有序。
當設備不能正（zhèng）常運（yùn）轉的時候，不要私（sī）自（zì）維修，要向領導報告，等專（zhuān）業人員對潔淨（jìng）室進行維修。
另外，由於潔淨室對（duì）潔淨度有著過高（gāo）的要求。因此，對潔淨室的工作人員的身體方麵的（de）狀況要求是很嚴格的。
患有呼吸道疾病的人，由於會對潔淨室的空氣造（zào）成汙染，故不能進入潔淨室工（gōng）作
患有結（jié）膜炎或者其他產生（shēng）分泌物的病症，或者患有皮膚類疾病的人員都（dōu）是不適合在潔淨室工作的。
另外需要注意的，潔淨室的工作人員要（yào）對（duì）自己的口腔衛生，保（bǎo）持注意。潔淨室工作（zuò）人（rén）員要定期的進行身體健康狀況的檢查
16運行節能
●潔（jié）淨室（shì）送風、排風、新風之間應切換自如，如生產（chǎn）停止、排風櫃也應停止或減小風量，新風也應調小（xiǎo）。
●工藝（yì）並非絕對要求值班風機運行保護的，應采用提前開機自淨的辦法。
●潔淨室通風機轉速使其壓頭可以控製，不要總處於最（zuì）大壓頭（tóu）或最（zuì）大風量運行的工況。
●運（yùn）行應最（zuì）大限度地利用室外空氣冷卻作用，並在此時增大新風比。
●潔淨室（shì）應根據室外氣象條件（jiàn）變化（huà），通（tōng）過自控或手控（kòng）即能調整設備出力（lì）。
●縮小潔淨空間體積，如潔淨隧（suì）道或隧道式潔（jié）淨室，根據生產要（yào）求把潔淨空間劃分為潔淨度級別不（bú）同（tóng）的工藝區、操作區、維修區（qū）和通道區。
